Detail publikace

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

VRBA, R., FICEK, R.

Originální název

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

Anglický název

New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement

Typ

výzkumná zpráva

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

Anglický abstrakt

New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement

Klíčová slova v angličtině

MEMS, nanotechnology, pressure sensor, measurement

Autoři

VRBA, R., FICEK, R.

Rok RIV

2006

Vydáno

15. 12. 2006

Nakladatel

MPO ČR

Místo

Buchlovice

Strany počet

14

BibTex

@techreport{BUT57521,
  author="Radimír {Vrba} and Richard {Ficek}",
  title="Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku",
  year="2006",
  publisher="MPO ČR",
  address="Buchlovice",
  series="1",
  pages="14"
}