Detail publikace

Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody

OHLÍDAL, I., OHLÍDAL, M., FRANTA, D., ČUDEK, V., BURŠÍKOVÁ, V., ŠILER, M.

Originální název

Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody

Anglický název

Stress measurement in thin layers with aid of combined optical method

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Je popsána optická metoda měření mechanického napětí v tenkých vrstvách. Metoda je založena na určování poloměrů zakřivení deformovaných podložek , která vznikají v důsledku napětí ve vrstvách vytvořených na těchto podložkách. Hodnoty napětí jsou počítány pomocí modifikované Stoneovy rovnice. Hodnoty tlouštěk tenkých vrstev jsou určeny pomocí metody založené na interpretaci experimentálních dat získaných v rámci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie. Metoda je využita pro určení hodnot mechanických napětí ve vrstvách DLC vytvořených na podložkách z monokrystalu křemíku, které obsahují příměsi Si a O. Je studována závislost hodnot napětí v těchto vrstvách na hodnotách poměru průtoků hexametyldisiloxanu a metanu.

Anglický abstrakt

In this paper mechanical stresses taking place in diamond like carbon (DLC) thin films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition onto silicon single crystal substrates are studied. For determining the stress values inside the films the optical methods are used. The first method is based on treating the interferograms obtained using a two-beam interferometer. By means of these interferograms the values of curvature radius of spherical surfaces of the deformed silicon substrates are determined. Using the modified Stoney's formula the stress values are then evaluated. The values of the films thickness needed for determining the stress values are found by the combined method of variable angle spectroscopic reflectometry. The influnce of the ratio of flows of HMDSO and CH4 on the stress inside films is studied.

Klíčová slova

DLC vrstvy, mechanické napětí, dvoupaprsková interferometrie

Klíčová slova v angličtině

DLC films, mechanical stress, two-beam interferometry

Autoři

OHLÍDAL, I., OHLÍDAL, M., FRANTA, D., ČUDEK, V., BURŠÍKOVÁ, V., ŠILER, M.

Rok RIV

2005

Vydáno

29. 3. 2005

Nakladatel

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

Místo

Praha

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

50

Číslo

3

Stát

Česká republika

Strany od

72

Strany do

75

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT45477,
  author="Ivan {Ohlídal} and Miloslav {Ohlídal} and Daniel {Franta} and Vladimír {Čudek} and Vilma {Buršíková} and Martin {Šiler}",
  title="Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2005",
  volume="50",
  number="3",
  pages="72--75",
  issn="0447-6441"
}