Detail publikace

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

KRČMA, F.

Originální název

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

Anglický název

Optical Plasma Diagnostic Methods for the Low Pressure Depositions

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.

Anglický abstrakt

The contribution is focused on the basic information about optical spectroscopy methods applied in the field of low-pressure plasma diagnostics. Tha basic quantum mechanics is given, too, and on this background the determination of electron, vibrational and rotational temperatures are given. The calculation of electron concentration from the spectra is also included. The principle of Abel transformation is shown on the example of non-homogeneous plasma object. The last part gives an overview through the absorption spectroscopy methods and their applicability in plasma diagnostics.

Klíčová slova v angličtině

optical emission spectroscopy, absorption spectroscopz, laser spectroscopy, spectrometer, Abel transformation

Autoři

KRČMA, F.

Rok RIV

2005

Vydáno

30. 5. 2005

Nakladatel

Česká vakuová společnost

Místo

Praha

ISSN

1213-2705

Periodikum

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Ročník

13

Číslo

2

Stát

Česká republika

Strany od

6

Strany do

16

Strany počet

11

BibTex

@article{BUT42473,
  author="František {Krčma}",
  title="Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  year="2005",
  volume="13",
  number="2",
  pages="6--16",
  issn="1213-2705"
}