Detail publikace

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

KRČMA, F.

Originální název

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

Český název

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.

Český abstrakt

Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.

Rok RIV

2005

Vydáno

30.05.2005

Nakladatel

Česká vakuová společnost

Místo

Praha

ISSN

1213-2705

Periodikum

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Ročník

13

Číslo

2

Stát

CZ

Strany od

6

Strany do

16

Strany počet

11

Dokumenty

BibTex


@article{BUT42473,
  author="František {Krčma}",
  title="Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku",
  annote="Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.",
  address="Česká vakuová společnost",
  chapter="42473",
  institution="Česká vakuová společnost",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  number="2",
  volume="13",
  year="2005",
  month="may",
  pages="6--16",
  publisher="Česká vakuová společnost",
  type="journal article - other"
}