Detail publikace

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T.

Originální název

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

Český název

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

Anglický název

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

Typ

článek v časopise

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

Český abstrakt

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

Anglický abstrakt

Description of device for measuring surface homogenity of thin films.

Rok RIV

2003

Vydáno

01.06.2003

Strany od

163

Strany do

165

Strany počet

3

BibTex


@article{BUT41943,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola}",
  title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
  annote="Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.",
  chapter="41943",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  number="6",
  volume="48",
  year="2003",
  month="june",
  pages="163",
  type="journal article"
}