Detail publikace

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T.

Originální název

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

Anglický název

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

Anglický abstrakt

Description of device for measuring surface homogenity of thin films.

Klíčová slova v angličtině

thin films, optical reflection, interferometry

Autoři

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2003

Vydáno

1. 6. 2003

ISSN

0447-6411

Ročník

48

Číslo

6

Strany od

163

Strany do

165

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT41943,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola}",
  title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  pages="3",
  issn="0447-6411"
}