Detail publikace

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M.

Originální název

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

Český název

In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.

Český abstrakt

V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.

Rok RIV

2001

Vydáno

01.04.2001

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

46

Číslo

4

Stát

CZ

Strany od

143

Strany do

145

Strany počet

3

Dokumenty

BibTex


@article{BUT40057,
  author="Stanislav {Voborný} and Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola} and Jakub {Zlámal} and Radim {Chmelík} and Zdeněk {Harna} and Jaroslav {Jiruše} and Miloš {Jákl}",
  title="In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev",
  annote="V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.",
  chapter="40057",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  number="4",
  volume="46",
  year="2001",
  month="april",
  pages="143",
  type="journal article - other"
}