Detail publikace

Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním

Ondrej Hégr, Jaroslav Bousek, Jaroslav Sobota, Radim Bařinka, Aleš Poruba

Originální název

Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním

Anglický název

Passivation layers of solar cells by means of reactive magnetron sputtering created

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Depozice antireflexní a pasivační vrstvy patří k jednomu z nejdůležitějších kroků při výrobě fotovoltaických článků. Vytváří antireflexní vrstvu, která zabraňuje pronikání nežádoucích složek světelného záření do substrátu. Pasivace také redukuje poruchy na křemíkovém povrchu a tím ovlivňuje výsledné rekombinačí parametry celého článku. V současném fotovoltaickém průmyslu je pro povrchovou pasivaci nejpoužívanějším materiálem plasmaticky nanášený nitrid křemíku (SiNx). V naší práci se zabýváme depozicí různých typů pasivačních vrstev na zadní strany budoucích solárních článků (SiNx, Si3N4, SiO2, Al2O3 a AlN) pomocí reaktivního magnetronového naprašování.. Pasivační vrstvy se deponují v plazmochemickém prostředí působením procesních plynů. Systém je charakteristický nízkým tlakem reakčních směsí a poměrně nízkými depozičními teplotami (do 200°C). Cílem práce je charakterizace vyrobených křemíkových solárních článků s naprášenými vrstvami přesně definovaných tlouštěk. Vrstvy jsou nanášeny na c-Si desky s různě upravenými povrchy. Sledujeme elektrické a optické parametry desek a porovnáváme je se sériově vyráběnými články společnosti Solartec s.r.o.

Anglický abstrakt

Antireflection and passivation coating deposition is one of most important steps of photovoltaic cells production. The antireflection coating averting of light undesirable component penetrate in the silicon substrate. Passivation layer reduce defect on the silicon surface and the recombination parameters are improve. Present, for photovoltaic industry is silicon nitride the most of materials used. In our work we deal with deposition of variously type passivation layers (SiNx, Si3N4, SiO2, Al2O3 and AlN) on the back side of silicon solar cells by means of reactive magnetron sputtering.

Klíčová slova

magnetronové naprašování, pasivační vrstva, solární články

Klíčová slova v angličtině

magnetron sputtering, passivation, solar cells

Autoři

Ondrej Hégr, Jaroslav Bousek, Jaroslav Sobota, Radim Bařinka, Aleš Poruba

Rok RIV

2006

Vydáno

30. 6. 2006

Nakladatel

Czech RE Agency

Místo

Rožnov pod Radhoštěm

ISBN

80–239–7361–4

Kniha

2.česká fotovoltaická konference

Číslo edice

1

Strany od

1

Strany do

3

Strany počet

3

BibTex

@inproceedings{BUT19809,
  author="Ondřej {Hégr} and Jaroslav {Boušek} and Jaroslav {Sobota} and Radim {Bařinka} and Aleš {Poruba}",
  title="Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním",
  booktitle="2.česká fotovoltaická konference",
  year="2006",
  volume="2006",
  number="1",
  pages="3",
  publisher="Czech RE Agency",
  address="Rožnov pod Radhoštěm",
  isbn="80–239–7361–4"
}