Detail publikace

Příprava vzorků pro testování rozlišení

BÁBOR, P. POTOČEK, M. ŠIKOLA, T.

Originální název

Příprava vzorků pro testování rozlišení

Anglický název

Preparation of samples for testing of the resolution of the

Typ

souhrnná výzkumná zpráva - smluv. výzkum

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Výzkumná zpráva je zaměřena na přípravu speciálních vzorků pro testování vysokého laterálního rozlišení skenovacího elektronového mikroskopu, dále pro testování energiově selektivního zobrazování pomocí odražených elektronů a vzorku pro demonstraci hmotnostního rozlišení přístroje SIMS ve verzi H-TOF.

Anglický abstrakt

Research report is focused on the preparation of special samples for testing of the high lateral resolution of the scanning electron microscope, x-ray energy dispersive spectrometer testing for selective viewing using the electrons and the sample for a demonstration of mass resolution of the device in the SIMS version of H-TOF.

Klíčová slova

SEM, SIMS, H-TOF, rozlišení, elektron, iont

Klíčová slova v angličtině

HERE, SIMS, H-TOF, resolution, electron, ion

Autoři

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIKOLA, T.

Vydáno

20. 11. 2016

Místo

Brno

Strany od

1

Strany do

14

Strany počet

14

BibTex

@misc{BUT132790,
  author="Petr {Bábor} and Michal {Potoček} and Tomáš {Šikola}",
  title="Příprava vzorků pro testování rozlišení",
  year="2016",
  pages="1--14",
  address="Brno",
  note="summary research report - contract. research"
}