Detail publikace

Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace

KRČMA, F.

Originální název

Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace

Český název

Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Úvodní přednáška začne stručným přehledem plazmatu jako čtvrtého skupenství hmoty, elementárních procesů v plazmatu jako je účinný průřez, distribuční funkce energie elektronů, Debyeova difúzní délka, teploty různých částic (především v nerovnovážných případech), atd. Produkce různých reaktivních částic jako jsou ionty, radikály a excitované částice bude prezentována s ohledem na využití v nerovnovážné objemové i povrchové chemii. Bude uveden přehled nízkotlakých plazmových systémů a elektrodových konfigurací využitelných v laboratorních procesech a technologiích. Na závěr budou prezentovány vybrané průmyslové aplikace jako depozice tenkých a tvrdých vrstev, povrchové úpravy, produkce nanočástic a nanostruktur, plazmová TV, apod.

Český abstrakt

Úvodní přednáška začne stručným přehledem plazmatu jako čtvrtého skupenství hmoty, elementárních procesů v plazmatu jako je účinný průřez, distribuční funkce energie elektronů, Debyeova difúzní délka, teploty různých částic (především v nerovnovážných případech), atd. Produkce různých reaktivních částic jako jsou ionty, radikály a excitované částice bude prezentována s ohledem na využití v nerovnovážné objemové i povrchové chemii. Bude uveden přehled nízkotlakých plazmových systémů a elektrodových konfigurací využitelných v laboratorních procesech a technologiích. Na závěr budou prezentovány vybrané průmyslové aplikace jako depozice tenkých a tvrdých vrstev, povrchové úpravy, produkce nanočástic a nanostruktur, plazmová TV, apod.

Klíčová slova

Nízkotlaké plazma, elementární procesy v plazmatu, plazmové technologie

Vydáno

30.05.2016

Nakladatel

Česká vakuová Společnost

Místo

Praha

ISSN

1213-2705

Periodikum

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Ročník

24

Číslo

1

Stát

CZ

Strany od

5

Strany do

10

Strany počet

6

Dokumenty

BibTex


@article{BUT129152,
  author="František {Krčma}",
  title="Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace",
  annote="Úvodní přednáška začne stručným přehledem plazmatu jako čtvrtého skupenství hmoty, elementárních procesů v plazmatu jako je účinný průřez, distribuční funkce energie elektronů, Debyeova difúzní délka, teploty různých částic (především v nerovnovážných případech), atd. Produkce různých reaktivních částic jako jsou ionty, radikály a excitované částice bude prezentována s ohledem na využití v nerovnovážné objemové i povrchové chemii. Bude uveden přehled nízkotlakých plazmových systémů a elektrodových konfigurací využitelných v laboratorních procesech a technologiích. Na závěr budou prezentovány vybrané průmyslové aplikace jako depozice tenkých a tvrdých vrstev, povrchové úpravy, produkce nanočástic a nanostruktur, plazmová TV, apod.",
  address="Česká vakuová Společnost",
  chapter="129152",
  howpublished="print",
  institution="Česká vakuová Společnost",
  number="1",
  volume="24",
  year="2016",
  month="may",
  pages="5--10",
  publisher="Česká vakuová Společnost",
  type="journal article - other"
}