Detail publikace

Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., FIEDOR, M., CHMELÍK, R., BUČEK, M., ŠIKOLA, T.

Originální název

Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

A system for large area thin film homognity diagnostics by spectroscopic reflectometry.

Klíčová slova v angličtině

Thin Films, Reflectometry, Interferometry

Autoři

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., FIEDOR, M., CHMELÍK, R., BUČEK, M., ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2003

Vydáno

6. 10. 2003

Nakladatel

ECASIA

Místo

Berlin

Strany od

284

Strany do

284

Strany počet

1

BibTex

@inproceedings{BUT11095,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Marián {Fiedor} and Radim {Chmelík} and Miroslav {Buček} and Tomáš {Šikola}",
  title="Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry",
  booktitle="ECASIA '03 Book of abstracts",
  year="2003",
  pages="1",
  publisher="ECASIA",
  address="Berlin"
}