Detail publikace

Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku

ŠAMOŘIL, T. METELKA, O. ŠIKOLA, T.

Originální název

Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku

Anglický název

Preparation of micro and nanostructures by selective Si wet etching

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Chemické leptání patří mezi velmi používané metody modifikace povrchu mnoha materiálů, které je využíváno jak v průmyslu, tak i v základním výzkumu. Tento článek pojednává o přípravě povrchových struktur selektivním mokrým leptáním Si(100) přes masku, jež je vytvořena pomocí metod elektronové a iontové litografie. Tyto metody s vysokým rozlišením v kombinaci s leptáním za použití vodného roztoku hydroxidu draselného (KOH) umožňují získat struktury rozdílných tvarů a rozměrů jak v mikrometrovém, tak i nanometrovém měřítku.

Anglický abstrakt

Chemical etching is widely utilized method for surface modification of many materials and is used both in industry and in basic research. This article deals with the preparation of surface structures by selective wet etching of Si(100) through a mask created by electron and ion beam lithography. Combining these high-resolution patterning techniques with etching using an aqueous solution of potassium hydroxide (KOH) allows to obtain structures with different shapes and sizes, both at micrometer and nanometer scale.

Klíčová slova

křemík; elektronová litografie; fokusovaný iontový svazek; selektivní mokré leptání

Klíčová slova v angličtině

Silicon; Electron lithography; Focussed ion beam; selective wet etching

Autoři

ŠAMOŘIL, T.; METELKA, O.; ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2014

Vydáno

1. 7. 2014

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

59

Číslo

6-7

Stát

Česká republika

Strany od

192

Strany do

195

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT108856,
  author="Tomáš {Šamořil} and Ondřej {Metelka} and Tomáš {Šikola}",
  title="Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2014",
  volume="59",
  number="6-7",
  pages="192--195",
  issn="0447-6441"
}