Detail produktu

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

PEKÁREK, J. MAGÁT, M.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Klíčová slova

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

Datum vzniku

10.04.2012

Umístění

Laboratoř T10-N0.67

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www