Detail produktu

Krystalický solární článek s pasivací zadní strany napařovanou vrstou Al2O3

HÉGR, O. BAŘINKA, R.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Cílem sestavení funkčního vzorku bylo vyloučení technologického procesu vysokoteplotní pasivace metodou LPCVD (850 st.C) a nahrazení tohoto kroku technologií magnetronového naprašování při nízkých teplotách (cca. 100 st.C). Jako materiál pro reaktivní depozici vybraných vrstev byl zvolen nitrid hliníku AlN. Tenké vrstvy byly deponovány na přední stranu článků. Po zhotovení solárního článku byly měřeny jeho výstupní parametry a srovnávány se standardní technologií. Bylo prokázáno, že zjištěné hodnoty zejména účinnosti a fill faktoru byly srovnatelné s technologií LPCVD. Ve srovnání se tedy ukázalo, že je možné odstranit vysokoteplotní procesy bez výrazného poklesu žádaných výstupních parametrů.

Klíčová slova

oxid hliníku, pasivace zadní strany

Datum vzniku

20. 9. 2011

Umístění

Ústav mikroelektroniky, Laboratoř analogových obvodů a mikroelektronických technologií - 5.25

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek