Detail produktu

Hrotové zařízení pro lokální depozice a měření na čipu

HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Přípravek umožňuje po připojení k zdroji kontaktovat a provádět lokální elektrodepozice přímo na křemíkových substrátrech nebo čipech a tak modifikovat vymezenou oblast. Dále umožňuje v kombinaci se Autolabem firmy MethroOhm provádět měření přímo v modifikované oblasti.

Klíčová slova

Hrotové měření, lokální depozice, křemíkový substrát

Datum vzniku

23.12.2011

Umístění

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www