Detail patentu

Zařízení k provádění depozice mikroelektrod čipů, rozmístěných na desce, pomocí chemických roztoků

HUBÁLEK, J.

Typ patentu

užitný vzor

Abstrakt

Užitný vzor depozičního zařízení pro vytváření nanostruktur elektrochemickými nebo chemickými metodami. Zařízení provádí poziciování pomocí 3D systému a provádí lokální modifikace čipů nanostrukturami na nerozřezaném waferu.

Klíčová slova

elektrochemické a chemické depozice, nanostruktury

Číslo patentu

20398

Datum zápisu

04.01.2010

Vydavatel

Patentový úřad Brno

Vlastník

VUT

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek