Detail produktu

Elektrodepoziční systém

KAVÁLEK, O. ČECH, O. VONDRÁK, J. SEDLAŘÍKOVÁ, M.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Systém lze využít pro elektrochemickou depozici tenkých vrstev v řízené atmosféře.

Klíčová slova

Elektrochemická depozice, rukavicový box, inertní atmosféra

Datum vzniku

17.12.2010

Umístění

N 3.67

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

Dokumenty