Detail produktu

Funkční vzorek pro analýzy vlivů velikosti a tvarů otvorů clonek při čerpání plynů pro vytvoření vakua.

MAXA, J. JIRÁK, J. NEDĚLA, V.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Zařízení pro analýzy proudění plynů s různými variantami clonek pro zařízení enviromentálního rastovacího elektronévého mikroskopu. Především diferenciálně čerpané komory a scintilačního detektoru s ohledem na optimalizaci podmínek pro průchod elektronů v návaznosti na předchozích analýzách systémem využívající metodu konečných objemů.

Klíčová slova

EREM, scintilační SE detektor, elektronová mikroskopie

Datum vzniku

01.02.2010

Umístění

Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

Dokumenty