Detail produktu

Samostatně čerpaná komora vakuového systému environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

MAXA, J. NEDĚLA, V. JIRÁK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Přítomnost vysokého tlaku plynů (až 2000Pa) v komoře vzorku environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu vytváří specifické nároky na konstrukci mikroskopu a jeho čerpací systém. Jednotlivé konstrukční části EREM, zejména samostatně čerpaná komora mezi tubusem a komorou vzorku mikroskopu, musí být navrženy tak, aby vyhověly náročným požadavkům na účinné čerpání jejich vnitřního prostoru a minimalizaci tlaku v něm. Relativní technologická náročnost tohoto mikroskopu je však více než kompenzována širokou škálou možností jeho využití a to ať již v módu vakua, nebo v módu vysokého tlaku. Značnou tlakovou diferenci, vznikající mezi komorou vzorku (3-1000Pa) a prostorem zdroje elektronů (0.001 - 10-9Pa, podle typu katody) VP-SEM, lze udržet díky systému diferenciálně čerpaných komor, tlak omezujících clon (PLA1 a PLA2) a účinnému systému čerpání plynu. Clony jsou opatřeny otvory s průměrem řádově desítek až stovek mikrometrů a umožňují účinné omezení proudění plynů mezi jednotlivými částmi mikroskopu a současně dovolují průchod elektronů od jejich zdroje až na vzorek. Systém těchto komor a tlak omezujících clon je nejčastěji integrován v tubusu EREM. Mikroskop je zpravidla čerpán soustavou rotačních, difúzních či turbomolekulárních vývěv (prostor komory vzorku a s ním těsně sousedící diferenciálně čerpané komory), popřípadě iontových vývěv (prostor zdroje elektronů).

Klíčová slova

Samostatně čerpaná komora EREM, elektronová mikroskopie

Datum vzniku

01.12.2009

Umístění

Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www