Detail produktu

Samostatně čerpaná komora vakuového systému environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

MAXA, J. NEDĚLA, V. JIRÁK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Přítomnost vysokého tlaku plynů (až 2000Pa) v komoře vzorku environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu vytváří specifické nároky na konstrukci mikroskopu a jeho čerpací systém. Jednotlivé konstrukční části EREM, zejména samostatně čerpaná komora mezi tubusem a komorou vzorku mikroskopu, musí být navrženy tak, aby vyhověly náročným požadavkům na účinné čerpání jejich vnitřního prostoru a minimalizaci tlaku v něm. Relativní technologická náročnost tohoto mikroskopu je však více než kompenzována širokou škálou možností jeho využití a to ať již v módu vakua, nebo v módu vysokého tlaku. Značnou tlakovou diferenci, vznikající mezi komorou vzorku (3-1000Pa) a prostorem zdroje elektronů (0.001 - 10-9Pa, podle typu katody) VP-SEM, lze udržet díky systému diferenciálně čerpaných komor, tlak omezujících clon (PLA1 a PLA2) a účinnému systému čerpání plynu. Clony jsou opatřeny otvory s průměrem řádově desítek až stovek mikrometrů a umožňují účinné omezení proudění plynů mezi jednotlivými částmi mikroskopu a současně dovolují průchod elektronů od jejich zdroje až na vzorek. Systém těchto komor a tlak omezujících clon je nejčastěji integrován v tubusu EREM. Mikroskop je zpravidla čerpán soustavou rotačních, difúzních či turbomolekulárních vývěv (prostor komory vzorku a s ním těsně sousedící diferenciálně čerpané komory), popřípadě iontových vývěv (prostor zdroje elektronů).

Klíčová slova

Samostatně čerpaná komora EREM, elektronová mikroskopie

Datum vzniku

1. 12. 2009

Umístění

Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www