Detail produktu

Termální desorpční spektroskopie (TDS)

POTOČEK, M. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Detekce atomů a molekul uvolňovaných z řízeně ohřívaného povrchu vzorku. Metoda je realizována v UHV komoře a konstrukce zařízení umožňuje omezení nežádoucího vlivu zahřívaných součástí držáku vzorku. Proudový ohřev vzorku je řízen programem, který také umožňuje snadnou automatizaci procesu čištění vzorku metodou flešování.

Klíčová slova

termální desorpce; TDS; UHV; in situ analýza; tenké vrstvy

Datum vzniku

1. 6. 2008

Umístění

A2/518

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www