Detail produktu

Termální disociační zdroj atomů vodíku.

MACH, J. ŠIKOLA, T.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 - 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.

Klíčová slova

Atomární vodík; termální disociační zdroj atomů vodíku; atomární zdroj; vodík; disociace

Datum vzniku

3. 3. 2008

Umístění

A2/518

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www