Detail produktu

Počítačově řízený UHV manipulátor pro automatické měření spekter XPS.

POLČÁK, J. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T. ČECHAL, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

UHV manipulátor s řídicí jednotkou. Elektronické ovládání polohy (osa y), polární a azimutální rotace. Ruční posuv v horizontální rovině (osa x). Software pro automatické měření polohově a úhlově závislých spekter XPS.

Klíčová slova

UHV manipulátor, ARXPS, ultra tenké vrstvy, automatické měření

Datum vzniku

28. 1. 2008

Umístění

A2/518

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www