Detail produktu

Zobrazovací in situ reflektometr

SPOUSTA, J. URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. CHMELÍK, R.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.

Klíčová slova

tenké vrstvy, in situ analýza, optické vlastnosti, reflektometr

Datum vzniku

23. 1. 2007

Umístění

A2/518

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek