Detail publikace

Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544

TOMÁNEK, P., GRMELA, L.

Originální název

Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544

Anglický název

Semiconductors: local optical and electrical characteristics, ME 544

Typ

výzkumná zpráva

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Na základě předchozí prací v Laboratoři optické nanometrologie FEKT VUT jsou základními cíli této studie:1.Lokální spektroskopická měření s prostorovým a časovým rozlišení na polovodičových nanostrukturách, 2.Studium interakce sondy s předmětem v případě hybridního SNOM, 3.Diagnostika polovodičových nanostruktur a součástek,4.Studium akcelerovaného stárnutí součástek vedoucí k vyšší spolehlivosti součástek.

Anglický abstrakt

Due to the preliminary research activities probes, accomplished during last years at Laboratory of Optical Nanometrology of Faculty of Electrical Engineering and Communication, Brno University of Technology, the main targets of this study are: 1.Spatially and temporary resolved spectroscopic measurement of the local photocurrent in the semiconductor nanostructures. 2.Study of the interaction probe tip - sample in the case of SNOM working in hybrid mode. 3. Diagnostics of semiconductor nanomaterials and devices. 4.Study of accelerated ageing of structures leading to the better reliability and life of semiconductor devices.

Klíčová slova v angličtině

semiconductor, scanning near-field optical microscopy, local optical characteristics, local electrical characteristics, reliability, aging process

Autoři

TOMÁNEK, P., GRMELA, L.

Vydáno

6. 12. 2002

Nakladatel

MŠMT

Místo

Brno

Strany počet

18

BibTex

@techreport{BUT56881,
  author="Pavel {Tománek} and Lubomír {Grmela}",
  title="Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544",
  year="2002",
  publisher="MŠMT",
  address="Brno",
  series="neuvedeno",
  pages="18"
}