Detail publikace

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

KNÁPEK, A. PARAČKA, P. CHVÁTAL, M.

Originální název

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

Anglický název

The improved technology for the Schottky cathodes fabrication

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Příspěvek se zabývá metodou automatizované výroby Schottkyho katod pro potřeby elektronové mikroskopie. Mezi jednotlivými elektronovými zdroji začínají v poslední době převládat právě katody založené na principu Schottkyho emise. Především se jedná o SEM (rastrovací elektronovou mikroskopii), TEM (transmisní elektronovou mikroskopii), Augerovy systémy a o systémy pro diagnostiku v polovodičovém průmyslu. Nároky na parametry přístrojů stále narůstají, z čehož přirozeně vyplývá i potřeba kvalitního elektronového zdroje o malé velikosti, nízké energii rozptýlených elektronů, vysoké svítivosti, s nízký šumem, dlouhodobě teplotně stabilního a především s nízkými provozními náklady. Dosud byly za účelem zlepšení spolehlivosti přípravy implementovány mnohé technické modifikace související s výrobou a úpravou hrotů katod. Široce používané elektrochemické leptání metodou "drop-off" bylo dále zdokonaleno, aby umožnilo reprodukovatelnou výrobu hrotů o poloměru v řádech desítek nm.

Anglický abstrakt

The paper introduces a method for fabrication of microscopic cathode based on Schottky field emission. Schottky emission is the predominant electron source technology in actual focused electron beam equipment, including scanning electron microscopy (SEM), (TEM) transmission electron microscopy, Auger systems, and semiconductor inspection tools. Achieving proper results requires an electron source with the following ideal properties: small source size, low electron emission energy spread, high brightness (beam current per solid angle), low noise and long-term stability, simple and low-cost operation. Recently new technical modifications have been made in order to improve current fabrication methods. Widely used "drop-off" method was further improved in order to allow reproducible tip fabrication with ultra sharp tips which radius reaches tens of nanometers.

Klíčová slova

výroba Schottkyho emisních katod, elektrolytické leptání

Klíčová slova v angličtině

Schottky cathode fabrication, electrolytic etching

Autoři

KNÁPEK, A.; PARAČKA, P.; CHVÁTAL, M.

Rok RIV

2010

Vydáno

1. 6. 2010

Nakladatel

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

Místo

Olomouc

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Ročník

55

Číslo

5

Stát

Česká republika

Strany od

139

Strany do

141

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT47538,
  author="Alexandr {Knápek} and Petr {Paračka} and Miloš {Chvátal}",
  title="Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2010",
  volume="55",
  number="5",
  pages="139--141",
  issn="0447-6441"
}