Detail publikace
Diagnostika plazmatu pro PACVD
KRČMA, F.
Originální název
Diagnostika plazmatu pro PACVD
Český název
Diagnostika plazmatu pro PACVD
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
cs
Originální abstrakt
Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.
Český abstrakt
Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.
Klíčová slova
diagnostika plazmatu, optická spektroskopie, Langmuirovy sondy, hmotnostní spektroskopie
Vydáno
01.01.1999
Nakladatel
Slovenská vákuová spoločnosť
Místo
Bratislava
ISBN
80-227-1192-6
Kniha
Sborník Letní školy vakuové techniky
Číslo edice
1
Strany od
131
Strany do
142
Strany počet
12
Dokumenty
BibTex
@inproceedings{BUT3797,
author="František {Krčma}",
title="Diagnostika plazmatu pro PACVD",
annote="Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.",
address="Slovenská vákuová spoločnosť",
booktitle="Sborník Letní školy vakuové techniky",
chapter="3797",
institution="Slovenská vákuová spoločnosť",
year="1999",
month="january",
pages="131",
publisher="Slovenská vákuová spoločnosť",
type="conference paper"
}