Detail publikace

Diagnostika plazmatu pro PACVD

KRČMA, F.

Originální název

Diagnostika plazmatu pro PACVD

Český název

Diagnostika plazmatu pro PACVD

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.

Český abstrakt

Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.

Klíčová slova

diagnostika plazmatu, optická spektroskopie, Langmuirovy sondy, hmotnostní spektroskopie

Vydáno

01.01.1999

Nakladatel

Slovenská vákuová spoločnosť

Místo

Bratislava

ISBN

80-227-1192-6

Kniha

Sborník Letní školy vakuové techniky

Číslo edice

1

Strany od

131

Strany do

142

Strany počet

12

BibTex 


@inproceedings{BUT3797,
  author="František {Krčma}",
  title="Diagnostika plazmatu pro PACVD",
  annote="Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.",
  address="Slovenská vákuová spoločnosť",
  booktitle="Sborník Letní školy vakuové techniky",
  chapter="3797",
  institution="Slovenská vákuová spoločnosť",
  year="1999",
  month="january",
  pages="131",
  publisher="Slovenská vákuová spoločnosť",
  type="conference paper"
}