Detail produktu

Membrána bolometru pro detekci IR záření

NEUŽIL, P. SVATOŠ, V. PEKÁREK, J. GABLECH, I.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Membrána bolometru pro detekci IR záření je vyrobena na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrát jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena.

Klíčová slova

Bolometr, membrána, IR detekce

Datum vzniku

15.03.2016

Umístění

Laboratoř 0.67 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www