Detail publikace

Analýza proudění plynu v komoře vzorku EREM simulační metodou

BAYER, R. MAXA, J. VYROUBAL, P.

Originální název

Analýza proudění plynu v komoře vzorku EREM simulační metodou

Anglický název

Analysis of gas flow in specimen chamber in EREM using simulation

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Použitím environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu je možno studovat mnoho druhů vzorků a jejich fází způsobem, jakým to dříve nebylo možné. V článku jsou srovnány a analyzovány výsledky simulací proudění plynu komorou vzorku při zvolených úrovních tlaku, za účelem dosažení nejvyššího možného tlaku v oblasti vzorku a nejmenšího možného tlaku nad vzorkem na optické ose mikroskopu.

Anglický abstrakt

Using environmental scanning electron microscope it is possible to study many kinds of specimen and their phases the way that was not possible before. In the article there are compared and analyzed simulation results of gas flow in the specimen chamber for selected pressure levels, to achieve the highest possible pressure in the area of specimen and lowest possible pressure above the specimen on the optical axis of microscope.

Klíčová slova

ANSYS Fluent; Elektronová mikroskopie; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; EREM; Komora vzorku; SolidWorks

Klíčová slova v angličtině

ANSYS Fluent; Electron microscopy; Environmental scanning electron microscope; EREM; SolidWorks; Specimen chamber

Autoři

BAYER, R.; MAXA, J.; VYROUBAL, P.

Rok RIV

2015

Vydáno

8. 12. 2015

Nakladatel

Tribun EU s.r.o.

Místo

Plzeň

ISBN

978-80-261-0514-5

Kniha

Elektrotechnika a informatika 2015

Číslo edice

1

Strany od

3

Strany do

6

Strany počet

262

BibTex

@inproceedings{BUT120163,
  author="Robert {Bayer} and Jiří {Maxa} and Petr {Vyroubal}",
  title="Analýza proudění plynu v komoře vzorku EREM simulační metodou",
  booktitle="Elektrotechnika a informatika 2015",
  year="2015",
  number="1",
  pages="3--6",
  publisher="Tribun EU s.r.o.",
  address="Plzeň",
  isbn="978-80-261-0514-5"
}