Detail produktu

Vakuová LPCVD komora pro lokální depozici přímo na čipu s možností „in situ“ monitorování růstu vrstev pod optickým mikroskopem

SEDLÁČEK, J. GABLECH, I. SVATOŠ, V.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Jedná se o duralovou komoru pro LPCVD depozice materiálů na lokálně vyhřívaných membránách realizovaných na křemíkovém čipu. Ve víku komory je zasklený otvor umožňující „in situ“ pozorování růstu vrstvy pod optickým mikroskopem. Čip se do komory vkládá na korundové keramice (případně LTCC), na kterou je zasazen v zapájené patici nebo je na ni přímo nabondován.

Klíčová slova

LPCVD, depozice, čip, komora

Datum vzniku

17. 7. 2015

Umístění

LabSensNano T10-N0.66

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=110