Detail patentu

Membrána miniaturního bolometru se zvýšenou absorpcí

NEUŽIL, P. HUBÁLEK, J.

Typ patentu

užitný vzor

Abstrakt

Podstatou nového řešení je, že na membráně je vytvořena z těsně vedle sebe vertikálně umístěných uhlíkových nanotrubic absorpční vrstva o tloušťce v rozmezí 1 μm až 25 μm. Tyto nanotrubice mohou být jednostěnné nebo multistěnné. Protože se růst nanotrubic provádí na mikrobolometrech, které jsou tepelně izolované, jejich ohřevem se automaticky nebude ohřívat substrát, respektive se bude ohřívat jen marginálně. Hlavní výhodou oproti obvyklým způsobům je, že se zde využívají vertikálně uspořádané uhlíkové nanotrubice, které dohromady tvoří absolutně černé těleso. Ve srovnání se známými technikami pro zvyšování absorpce záření uvedené řešení zajišťuje necitlivost vytvořeného miniaturního bolometru na vlnové délce absorbovaného záření.

Klíčová slova

bolometr, MEMS, teplotní senzor, uhlíkové nanotrubice

Číslo patentu

28484

Datum zápisu

16.07.2015

Vlastník

Vysoké učení technické v Brně

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www