Detail produktu

AACVD reactor

VALLEJOS VARGAS, S. HUBÁLEK, J. PRÁŠEK, J. PYTLÍČEK, Z.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

The AACVD reactor was built to produce laboratory samples (2 x 2 cm) of nanostructured metal oxide films from metal organic precursors. The reactor can reach deposition temperatures up to 700 degC and it is designed to work with aerosol carrier flows between 0 and 500 sccm.

Klíčová slova

Aerosol assited CVD, metal oxides

Datum vzniku

21. 11. 2014

Umístění

Centrum SIX, Technická 3058/10, Brno

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=93