Detail produktu

Plazmový detektor bublin v ovrstvení

BURŠÍK, M. ŘEZNÍČEK, M. JANKOVSKÝ, J. MUSIL, V.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Jedná se o detektor umožňující identifikovat porušení povrchové izolační vrstvy elektrody s využitím výboje. Ovrstvená elektroda je testována z hlediska homogenity ovrstvení a plazmový detektor dokáže opticky i signálově poruchu vrstvy detekovat.

Klíčová slova

Plazma, homogenity, ovrstvení, chyby, detektor

Datum vzniku

07.08.2014

Umístění

Technická 3058/10, Laboratoř 0.63

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek