Detail publikace

Vytváření tenkých vrstev ve vakuu

YAHYA, D.

Originální název

Vytváření tenkých vrstev ve vakuu

Český název

Vytváření tenkých vrstev ve vakuu

Typ

článek v časopise

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Práce popisuje vytváření tenkých vrstev ve vakuu a principy nanašení vrstvy

Český abstrakt

Práce popisuje vytváření tenkých vrstev ve vakuu a principy nanašení vrstvy

Klíčová slova

Vakuové napařování, vrstva, teplota, výparník, napařovaný materiál, recipient, tlak, vodivost, vývěva

Rok RIV

2014

Vydáno

17.02.2014

Strany od

13

Strany do

14

Strany počet

2

BibTex


@article{BUT107009,
  author="Doaa {W. F. Yahya}",
  title="Vytváření tenkých vrstev ve vakuu",
  annote="Práce popisuje vytváření tenkých vrstev ve vakuu a principy nanašení vrstvy",
  chapter="107009",
  number="2",
  volume="2014",
  year="2014",
  month="february",
  pages="13--14",
  type="journal article"
}