Detail produktu

Nástroj pro leptání zadních stran Si desek

PEKÁREK, J. SVATOŠ, V. NEUŽIL, P. HUBÁLEK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Nástroj pro leptání zadních stran Si desek, tzv. „back-side etch“, je vyroben z vysoce odolného materiálu Ketron PEEK. Materiál odolává většině leptadel na bázi kyselin (fluorovodíková, chlorovodíková, dusičná, sírová a další) a také leptadlům na bázi hydroxidů (draselný, sodný, TMAH a další). Do nástroje se vloží 4“ Si deska popř. dvě desky. Po té se připojí vzduch a diferenční senzor tlaku, který detekuje případné podtečení. Celý přípravek je možné vložit do leptací vany a leptat tak pouze zadní část desky. Vyrobený nástroj je možné používat pro leptání membránek na zadních stranách Si desek, přičemž přední strana je chráněna proti leptadlu. Tohoto se využívá především v senzorických systémech v MEMS technologiích.

Klíčová slova

leptání, ochrana, detekce podtečení

Datum vzniku

13.08.2013

Umístění

T10-0.65

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

Dokumenty