funkční vzorek

Nástroj pro leptání zadních stran Si desek, tzv. „back-side etch“, je vyroben z vysoce odolného materiálu Ketron PEEK. Materiál odolává většině leptadel na bázi kyselin (fluorovodíková, chlorovodíková, dusičná, sírová a další) a také leptadlům na bázi hydroxidů (draselný, sodný, TMAH a další). Do nástroje se vloží 4“ Si deska popř. dvě desky. Po té se připojí vzduch a diferenční senzor tlaku, který detekuje případné podtečení. Celý přípravek je možné vložit do leptací vany a leptat tak pouze zadní část desky. Vyrobený nástroj je možné používat pro leptání membránek na zadních stranách Si desek, přičemž přední strana je chráněna proti leptadlu. Tohoto se využívá především v senzorických systémech v MEMS technologiích.

leptání, ochrana, detekce podtečení

13. 8. 2013

T10-0.65

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=83