Detail produktu

Depoziční pracoviště pro CNT pomocí acetylénu za sníženého tlaku

SEDLÁČEK, J. PEKÁREK, J. SVATOŠ, V. HUBÁLEK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Pracoviště pro depozici uhlíkových nanotrubic pomocí rozkladu acetylenu za sníženého tlaku se skládá z rotační a difúzní vývěvy, skleněné komory a vyhřívaného držáku vzorku. Do komory je skrz průchodky přiveden acetylén, který slouží jako zdroj uhlíku pro následnou tvorbu uhlíkových nanotrubic. Celý proces probíhá tak, že na křemíkový substrát je přes masku napařen katalyzátor (např. kobalt či železo). Vzorek je poté umístěn do komory na vyhřívaný držák. Po vyčerpání na požadovaný tlak je na zahřátý vzorek puštěn acetylen přesně definovaným průtokem. V místě napařeného katalyzátoru pak vyrostou vertikálně zarovnané nanotrubice.

Klíčová slova

Uhlíkové nanotrubice, acetylen, nízkotlaká depozice

Datum vzniku

23. 8. 2013

Umístění

LabSensNano T10-0.67

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www