Detail projektu

Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie

Období řešení: 01.03.2012 — 31.12.2019

Zdroje financování

Technologická agentura ČR - Centra kompetence

- plně financující (2012-03-01 - 2019-12-31)

O projektu

Klíčová slova
Electron beam lithography;Scanning electron microscopy;Scanning probe microscopy;Ultra high vacuum;Nanofabrication;Functional properties of nanostructures;Semiconductors

Označení

TE01020233

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Útvary

Ústav fyzikálního inženýrství
- příjemce (01.03.2012 - 31.12.2019)

Výsledky

KALOUSEK, R.; DUB, P.; BŘÍNEK, L.; ŠIKOLA, T. Response of plasmonic resonant nanorods: an analytical approach to optical antennas. OPTICS EXPRESS, 2012, vol. 20, no. 16, p. 17916-17927. ISSN: 1094-4087.
Detail

KŘÁPEK, V.; KLENOVSKÝ, P.; ŠIKOLA, T. Type-I and Type-II Confinement in Quantum Dots: Excitonic Fine Structure. ACTA PHYSICA POLONICA A, 2016, vol. 129, no. 1A, p. A66 (A69 p.)ISSN: 0587-4246.
Detail

HOŠEK, M.; ŘEŘUCHA, Š.; PRAVDOVÁ, L.; ČÍŽEK, M.; HRABINA, J.; ČÍP, O. Investigating The Use Of The Hydrogen Cyanide (HCN) As An Absorption Media For Laser Spectroscopy. In 21st Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. BELLINGHAM: SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING, 2019. ISBN: 9781510626089.
Detail

PRŮŠA, S.; BÁBÍK, P.; ŠIKOLA, T.; BRONGERSMA, H. Quantitative analysis of calcium and fluorine by high-sensitivity low-energy ion scattering: Calcium fluoride. Surface and Interface Analysis, 2020, vol. 52, no. 1, p. 1000-1003. ISSN: 0142-2421.
Detail

UHLÍŘ, V.; PRESSACCO, F.; ARREGI URIBEETXEBARRIA, J.; PROCHÁZKA, P.; PRŮŠA, S.; POTOČEK, M.; ŠIKOLA, T.; ČECHAL, J.; BENDOUNAN, A.; SIROTTI, F. Single-layer graphene on epitaxial FeRh thin films. Applied Surface Science, 2020, vol. 514, no. 1, p. 145923-1 (145923-7 p.)ISSN: 0169-4332.
Detail

MACH, J.; PIASTEK, J.; MANIŠ, J.; ČALKOVSKÝ, V.; ŠAMOŘIL, T.; FLAJŠMANOVÁ, J.; BARTOŠÍK, M.; VOBORNÝ, S.; KONEČNÝ, M.; ŠIKOLA, T. Low temperature selective growth of GaN single crystals on pre-patterned Si substrates. Applied Surface Science, 2019, vol. 497, no. 143705, p. 1-7. ISSN: 0169-4332.
Detail

BOUCHAL, P.; DVOŘÁK, P.; BABOCKÝ, J.; BOUCHAL, Z.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; KŘÁPEK, V.; FAßBENDER, A.; LINDEN, S.; CHMELÍK, R.; ŠIKOLA, T. Kvantitativní fázové měření plazmonických metapovrchů pomocí geometricko-fázové holografické mikroskopie. Jemná mechanika a optika, 2019, roč. 64, č. 4, s. 95-98. ISSN: 0447-6441.
Detail

NOVÁK, T.; KOSTELNÍK, P.; KONEČNÝ, M.; ČECHAL, J.; KOLÍBAL, M.; ŠIKOLA, T. Temperature effect on Al predose and AlN nucleation affecting the buffer layer performance for the GaN-on-Si based high-voltage devices. Japanese Journal of Applied Physics, 2019, vol. 58, no. SC, p. SC1018-1 (SC1018-9 p.)ISSN: 0021-4922.
Detail

BOUCHAL, P.; DVOŘÁK, P.; BABOCKÝ, J.; BOUCHAL, Z.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; KŘÁPEK, V.; FAßBENDER, A.; LINDEN, S.; CHMELÍK, R.; ŠIKOLA, T. High-Resolution Quantitative Phase Imaging of Plasmonic Metasurfaces with Sensitivity down to a Single Nanoantenna. NANO LETTERS, 2019, vol. 19, no. 2, p. 1242-1250. ISSN: 1530-6984.
Detail

HOLEŇÁK, R.; SPUSTA, T.; POTOČEK, M.; SALAMON, D.; ŠIKOLA, T.; BÁBOR, P. 3D localization of spinel (MgAl2O4) and sodium contamination in alumina by TOF-SIMS. MATERIALS CHARACTERIZATION, 2019, vol. 148, no. 1, p. 252-258. ISSN: 1044-5803.
Detail

AMEEN POYLI, M.; HRTOŇ, M.; NECHAEV, I.; NIKITIN, A.; ECHENIQUE, P.; SILKIN, V.; AIZPURUA, J.; ESTEBAN, R. Controlling surface charge and spin density oscillations by Dirac plasmon interaction in thin topological insulators. PHYSICAL REVIEW B, 2018, vol. 97, no. 11, p. 115420-1 (115420-14 p.)ISSN: 2469-9950.
Detail

KONEČNÝ, M.; BARTOŠÍK, M.; MACH, J.; ŠVARC, V.; NEZVAL, D.; PIASTEK, J.; PROCHÁZKA, P.; CAHLÍK, A.; ŠIKOLA, T. Kelvin Probe Force Microscopy and Calculation of Charge Transport in a Graphene/Silicon Dioxide System at Different Relative Humidity. ACS APPL MATER INTER, 2018, vol. 10, no. 14, p. 11987-11994. ISSN: 1944-8244.
Detail

ŠIK, O.; BÁBOR, P.; POLČÁK, J.; BELAS, E.; MORAVEC, P.; GRMELA, L.; STANĚK, J. Low Energy Ion Scattering as a depth profiling tool for thin layers - Case of bromine Methanol etched CdTe. Vacuum, 2018, no. 152, p. 138-144. ISSN: 0042-207X.
Detail

HRTOŇ, M.; KŘÁPEK, V.; ŠIKOLA, T. Boundary element method for 2D materials and thin films. OPTICS EXPRESS, 2017, vol. 25, no. 20, p. 23709-23724. ISSN: 1094-4087.
Detail

MACH, J.; PROCHÁZKA, P.; BARTOŠÍK, M.; NEZVAL, D.; PIASTEK, J.; HULVA, J.; ŠVARC, V.; KONEČNÝ, M.; KORMOŠ, L.; ŠIKOLA, T. Electronic transport properties of graphene doped by gallium. NANOTECHNOLOGY, 2017, vol. 28, no. 41, p. 1-10. ISSN: 0957-4484.
Detail

ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. Flexible foils formed by a prolonged electron beam irradiation in scanning electron microscope. Applied Surface Science, 2017, vol. 423, no. 1, p. 538-541. ISSN: 0169-4332.
Detail

DVOŘÁK, P.; ÉDES, Z.; KVAPIL, M.; ŠAMOŘIL, T.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; KALOUSEK, R.; KŘÁPEK, V.; DUB, P.; SPOUSTA, J.; VARGA, P.; ŠIKOLA, T. Imaging of near-field interference patterns by a-SNOM – influence of illumination wavelength and polarization state. OPTICS EXPRESS, 2017, vol. 25, no. 14, p. 16560-16573. ISSN: 1094-4087.
Detail

BABOCKÝ, J.; KŘÍŽOVÁ, A.; ŠTRBKOVÁ, L.; KEJÍK, L.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; DVOŘÁK, P.; TÝČ, M.; ČOLLÁKOVÁ, J.; KŘÁPEK, V.; KALOUSEK, R.; CHMELÍK, R.; ŠIKOLA, T. Quantitative 3D phase imaging of plasmonic metasurfaces. ACS Photonics, 2017, vol. 4, no. 6, p. 1389-1397. ISSN: 2330-4022.
Detail

DVOŘÁK, P.; NEUMAN, T.; BŘÍNEK, L.; ŠAMOŘIL, T.; KALOUSEK, R.; DUB, P.; VARGA, P.; ŠIKOLA, T. Control and Near-Field Detection of Surface Plasmon Interference Patterns. NANO LETTERS, 2013, vol. 13, no. 6, p. 2558-2563. ISSN: 1530-6984.
Detail

BŘÍNEK, L.; DVOŘÁK, P.; NEUMAN, T.; DUB, P.; KALOUSEK, R.; ŠIKOLA, T. Aplikace rastrovací optické mikroskopie v blízkém poli pro plasmoniku. Jemná mechanika a optika, 2013, roč. 58, č. 6, s. 169-171. ISSN: 0447-6441.
Detail

LIŠKOVÁ, Z.; PROCHÁZKA, P.; BARTOŠÍK, M.; MACH, J.; URBÁNEK, M.; LEDINSKÝ, M.; FEJFAR, A.; ŠIKOLA, T. Metody charakterizace grafenu. Jemná mechanika a optika, 2013, roč. 58, č. 6, s. 184-186. ISSN: 0447-6441.
Detail

ŠULC, D.; WERTHEIMER, P.; PÁLENÍČEK, M.; VÁLEK, L.; ŠIKOLA, T. Zařízení pro analýzu křemíkových desek. Jemná mechanika a optika, 2013, roč. 58, č. 6, s. 187-189. ISSN: 0447-6441.
Detail

BŘÍNEK, L.; ÉDES, Z.; DVOŘÁK, P.; NEUMAN, T.; ŠAMOŘIL, T.; KALOUSEK, R.; DUB, P.; ŠIKOLA, T. Interference povrchových plazmonů v blízkém poli. Československý časopis pro fyziku, 2013, roč. 63, č. 4, s. 234-236. ISSN: 0009-0700.
Detail

PROCHÁZKA, P.; MACH, J.; BISCHOFF, D.; LIŠKOVÁ, Z.; DVOŘÁK, P.; VAŇATKA, M.; SIMONET, P.; VARLET, A.; HEMZAL, D.; PETRENEC, M.; KALINA, L.; BARTOŠÍK, M.; ENSSLIN, K.; VARGA, P.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. Ultrasmooth metallic foils for growth of high quality graphene by chemical vapor deposition. NANOTECHNOLOGY, 2014, vol. 25, no. 18, p. 185601-1 (185601-8 p.)ISSN: 0957-4484.
Detail

ČECHAL, J.; POLČÁK, J.; ŠIKOLA, T. Detachment Limited Kinetics of Gold Diffusion through Ultrathin Oxide Layers. Journal of Physical Chemistry C (print), 2014, vol. 118, no. 31, p. 17549-17555. ISSN: 1932-7447.
Detail

NEUMAN, J.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; ŠULC, D.; WERTHEIMER, P.; VASKEVICH, A.; RUBINSTEIN, I.; ŠIKOLA, T. Příprava pravidelně uspořádaných ostrůvků zlata. Jemná mechanika a optika, 2014, roč. 59, č. 6-7, s. 199-201. ISSN: 0447-6441.
Detail

MACH, J.; ŠAMOŘIL, T.; KOLÍBAL, M.; ZLÁMAL, J.; VOBORNÝ, S.; BARTOŠÍK, M.; ŠIKOLA, T. Optimization of ion-atomic beam source for deposition of GaN ultrathin films. Review of Scientific Instruments, 2014, vol. 85, no. 8, p. 083302-1 (083302-5 p.)ISSN: 0034-6748.
Detail

LIGMAJER, F.; DRUCKMÜLLEROVÁ, Z.; MĚCH, R.; KOLÍBAL, M.; ŠIKOLA, T. Tvorba uspořádaných souborů kovových nanočástic na polovodičových substrátech a jejich charakterizace pomocí spektroskopické elipsometrie. Jemná mechanika a optika, 2014, roč. 59, č. 6-7, s. 178-180. ISSN: 0447-6441.
Detail

ŠAMOŘIL, T.; METELKA, O.; ŠIKOLA, T. Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku. Jemná mechanika a optika, 2014, roč. 59, č. 6-7, s. 192-195. ISSN: 0447-6441.
Detail

KŘÁPEK, V.; KOH, A.; BŘÍNEK, L.; HRTOŇ, M.; TOMANEC, O.; KALOUSEK, R.; MAIER, S.; ŠIKOLA, T. Spatially resolved electron energy loss spectroscopy of crescent-shaped plasmonic antennas. OPTICS EXPRESS, 2015, vol. 23, no. 9, p. 11855-11867. ISSN: 1094-4087.
Detail

NEUMAN, J.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; ZLÁMAL, J.; KALOUSEK, R.; SPOUSTA, J.; DITTRICHOVÁ, L.; ŠIKOLA, T. Experimental optimization of power-function-shaped drive pulse for stick-slip piezo actuators. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2015, vol. 42, no. 1, p. 187-194. ISSN: 0141-6359.
Detail

BÁBOR, P.; DUDA, R.; POLČÁK, J.; PRŮŠA, S.; POTOČEK, M.; VARGA, P.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. Real-time observation of self-limiting SiO2/Si decomposition catalysed by gold silicide droplets. RSC Advances, 2015, vol. 5, no. 123, p. 101726-101731. ISSN: 2046-2069.
Detail

PRŮŠA, S.; PROCHÁZKA, P.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.; TER VEEN, R.; FARTMANN, M.; GREHL, T.; BRÜNER, P.; ROTH, D.; BAUER, P.; BRONGERSMA, H. Highly Sensitive Detection of Surface and Intercalated Impurities in Graphene by LEIS. Langmuir, 2015, vol. 31, no. 35, p. 9628-9635. ISSN: 0743-7463.
Detail

NEZVAL, D.; BARTOŠÍK, M.; MACH, J.; ŠVARC, V.; KONEČNÝ, M.; PIASTEK, J.; ŠPAČEK, O.; ŠIKOLA, T. DFT study of water on graphene: Synergistic effect of multilayer p-doping. Journal of Chemical Physics, 2023, vol. 159, no. 21, ISSN: 1089-7690.
Detail

ÉDES, Z.; KŘÁPEK, V.; ŠIKOLA, T. Modeling of Plasmon-Enhanced Photoluminescence of Si Nanocrystals Embedded in Thin Silicon-Rich Oxinitride Layer. ACTA PHYSICA POLONICA A, 2016, vol. 129, no. 1A, p. A70 (A72 p.)ISSN: 0587-4246.
Detail

FLAJŠMAN, L.; URBÁNEK, M.; KŘIŽÁKOVÁ, V.; VAŇATKA, M.; TURČAN, I.; ŠIKOLA, T. High-resolution fully vectorial scanning Kerr magnetometer. Review of Scientific Instruments, 2016, vol. 87, no. 5, p. 053704-1 (053704-7 p.)ISSN: 0034-6748.
Detail

KVAPIL, M.; KROMKA, A.; REZEK, B.; KALOUSEK, R.; KŘÁPEK, V.; DUB, P.; ŠIKOLA, T. Influence of nanocrystalline diamond on resonant properties of gold plasmonic antennas. physica status solidi (a), 2016, vol. 213, no. 6, p. 1564-1571. ISSN: 1862-6300.
Detail

BABOCKÝ, J.; BOK, J.; ŠIKOLA, T.; FIALA, J. Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie. Jemná mechanika a optika, 2016, roč. 61, č. 6, s. 157-159. ISSN: 0447-6441.
Detail

BABOCKÝ, J.; DVOŘÁK, P.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; ŠIKOLA, T.; BOK, J.; FIALA, J. Patterning large area plasmonic nanostructures on nonconductive substrates using variable pressure electron beam lithography. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2016, vol. 34, no. 6, p. 06K801-1 (06K801-4 p.)ISSN: 1071-1023.
Detail

BARTOŠÍK, M.; KORMOŠ, L.; FLAJŠMAN, L.; KALOUSEK, R.; MACH, J.; LIŠKOVÁ, Z.; NEZVAL, D.; ŠVARC, V.; ŠAMOŘIL, T.; ŠIKOLA, T. Nanometer-Sized Water Bridge and Pull-Off Force in AFM at Different Relative Humidities: Reproducibility Measurement and Model Based on Surface Tension Change. JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY B, 2017, vol. 121, no. 3, p. 610-619. ISSN: 1520-6106.
Detail

PROCHÁZKA, P.; MAREČEK, D.; LIŠKOVÁ, Z.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. X-ray induced electrostatic graphene doping via defect charging in gate dielectric. Scientific Reports, 2017, vol. 7, no. 1, p. 1-7. ISSN: 2045-2322.
Detail

KORMOŠ, L.; KRATZER, M.; KOSTECKI, K.; OEME, M.; ŠIKOLA, T.; KASPER, E.; SCHULZE, J.; TEICHERT, C. Surface analysis of epitaxially grown GeSn alloys with Sn contents between 15% and 18%. Surface and Interface Analysis, 2017, vol. 49, no. 4, p. 297-302. ISSN: 1096-9918.
Detail

MACH, J.; ŠIKOLA, T.; Vut Brno: Zařízení k nanášení ultratenkých vrstev. 303867, patent. (2013)
Detail

NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; ŠIKOLA, T.; KVAPIL, M.: Měřič piezoposuvů; Systém pro charakterizaci a optimalizaci piezomotorů. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-06/. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Měřící hlava studené emise; Měřicí hlava druhé generace pro měření studené emise elektronů. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Efuzní atomární zdroj pro UHV SEM; Efuzní atomární zdroj pro UHV SEM zařízení. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. (funkční vzorek)
Detail

WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.: STM preamp; Kombinovaný SPM předzesilovač. FSI VUT v Brně, A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2015-04/. (funkční vzorek)
Detail

PAVERA, M.; NOVÁČEK, Z.; DAO, T.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: LT UHV STM; Nízkoteplotní ultravakuový mikroskop STM. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2015-02/. (funkční vzorek)
Detail

PAVERA, M.; NOVÁČEK, Z.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; ŠIKOLA, T.: Stick-slip SPM motor; Stick-slip piezoelektrický motor. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2015-01/. (funkční vzorek)
Detail

WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: HV zesilovač; Vysokonapěťový zesilovač a lineární nízkošumový zdroj. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-03/. (funkční vzorek)
Detail

WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: předzesilovač; Předzesilovač signálu z křemenné ladící vidličky. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-04/. (funkční vzorek)
Detail

BABOCKÝ, J.; DVOŘÁKOVÁ, H.; FIALA, J.; HRABOVSKÝ, M.; LÁZNIČKA, J.; LOPOUR, F.; MAŇÁSEK, J.; MARŠÍK, J.; ČÍŽEK, M.; HOLÁ, M.; LAZAR, J.; ŘEŘUCHA, Š.; ŠIKOLA, T.: Lithograph L1000; Funkční prototyp elektronového litografu o energii 80 keV. TESCAN Brno s.r.o.. (prototyp)
Detail

DOLEŽEL, P.; LOPOUR, F.; PLACHÝ, L.; SKLADANÝ, R.; ZIGO, J.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.: Functional prototype of a UHV SEM/SPM; Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM. TESCAN Brno s.r.o.. (prototyp)
Detail

MACH, J.; PROCHÁZKA, P.: Uhlíková cela; Sublimační zdroj atomů uhlíku. Lboratoř 518, ÚFI FSI VUT v Brně.. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-07/. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Organická cela; Zdroj organických molekul s třemi segmenty. ÚFI FSI VUT v Brně, laboratoř 518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-03/. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Al cela; Zdroj atomů Al s radiačním ohřevem. ÚFI FSI VUT v Brně, laboratoř 518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-01/. (funkční vzorek)
Detail

SCHÁNILEC, V.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: leptač hrotů; Zařízení pro leptání hrotů. Laboratoře ÚFI, FSI VUT v Brně. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-06/. (funkční vzorek)
Detail

NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: piezomotor; piezomotor, impact drive. Laboratoře ÚFI, FSI VUT v Brně. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-05/. (funkční vzorek)
Detail

NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; ŠIKOLA, T.: Vzduchové SPM; Vzduchové SPM. Laboratoře ÚFI, FSI VUT v Brně. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-04/. (funkční vzorek)
Detail