Cílem studia je poskytnout studentům vzdělání a umožnit jim vědecký výzkum v oblastech inženýrská optika, fyzika povrchů, mikromechanika materiálů, strojírenské materiály, fyzikální metalurgie a aplikovaný výzkum keramiky.

prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc.

1. Difrakční kontrast ve STEMu a jeho užití pro určení optických vlastnosti elektronového mikroskopu

   Zobrazení vzorku ve skenovacím transmisním elektronovém mikroskopu (STEM), nebo v transmisním režimu skenovacího elektronového mikroskopu (TSEM) patří ke standardním mikroskopických technikám. Lze ho však také použít pro určení hodnot aberačních koeficientů, které je založeno na počítačovém zpracování obrazu amorfního vzorku. Znalost aberacnich koeficientu je zásadní pro seřízení korigovanych systémů. Standardní techniky využívají bud 2D pixelový detektor pod vzorkem pomocí něhož generují Ronchigramy (stínové obrazy). Analýzou jednoho, nebo malého počtu Ronchigramů lze určit aberační koeficienty. Pokud systém není vybaven 2D detektorem pod vzorkem lze aberacní koeficienty určit ze série difraktogramů - Fourierovy transformace obrazu různě nakloněné amorfniho vzorku. Práce se bude soustředit na vývoj a optimalizaci uvedených metod pro systém s 2D segmentovaným detektorem pod vzorkem. Práce bude zahrnovat návrh, simulaci a experimentální ověření metody.

   Školitel: Radlička Tomáš, Mgr., Ph.D.

2. Elektrostatické vychylovací a korekční systémy

   Návrh elektrostatického vychylovacího a korekčního systému. V elektronovou litografii je nutné použít dynamickou fokusaci a dynamické stigmátory pro korekci vad vychylovacího systému pro dosažení optimálního tvaru stopy. Cílem práce je prostudovat možnosti dynamické korekce vad vychýlení a navrhnout optický systém pro litografii. Určit citlivost dynamické fokusace a stigmování pro ELG s Gaussovským svazkem. Ilustrovat na příkladu čoček ELG 600 (objektiv a poslední kondenzor), doplněný o elektrostatický vychylovací systém a jeho porovnání s existujícím magnetickým systémem. Slabá elektrostatická čočka ve zmenšovacím kondenzoru se může použít pro dynamickou fokusaci (posuv křižiště tak, aby po vychýlení byla stopa ostrá). Jaká geometrie je nejvhodnější pro tuto čočku, jaká je její účinnost? Jak funguje dynamický stigmátor a jak ovlivňuje zkreslení vychylovacího systému?

   Školitel: Lencová Bohumila, prof. RNDr., CSc.

3. Moderní metody pro návrh a určení koeficientů vad elektronově optických systémů

   - maticová metoda výpočtu elektronově optických systémů - započtení vad seřízení a vad pátého řádu - implementace metody diferenciálních algeber pro výpočet koeficientů vad libovolného řádu

   Školitel: Lencová Bohumila, prof. RNDr., CSc.