Detail předmětu

Příprava a vlastnosti tenkých vrstev materiálů

FCH-DCO_PTVAk. rok: 2021/2022

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Jazyk výuky

čeština

Počet kreditů

0

Výsledky učení předmětu

Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.

Prerekvizity

Úvod do tenkých vrstev.

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Výuka předmětu je realizována formou: individuální konzultace. Vyučujícím a studentům je k dispozici e-learningový systém (LMS Moodle).

Způsob a kritéria hodnocení

Písemný vstupní test a ústní zkouška.

Osnovy výuky

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Případová studie

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Přednášky jsou nepovinné.

Základní literatura

M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)
H. Bubert, H. Jenett, Surface and Thin Film Analysis, Wiley-VCH, 2002 (CS)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program DKCP_CHM_4_N doktorský, 1. ročník, zimní semestr, povinně volitelný
  • Program DPCP_CHM_4_N doktorský, 1. ročník, zimní semestr, povinně volitelný