Detail předmětu
Thin Films
FCH-BAO_TPVAk. rok: 2019/2020
Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Nabízen zahradničním studentům
Všech fakult
Výsledky učení předmětu
Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, o vybraných analýzách vlastností vrstev a jejich aplikacích. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.
Prerekvizity
Základy chemie a fyziky.
Doporučená nebo povinná literatura
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002 (EN)
D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998 (EN)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004 (EN)
N. Inagaki, Plasma Surface Modification and Plasma Polymerisation. Lancaster: Technomic Publ., 1996 (EN)
Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody
Výuka předmětu je realizována formou: Přednáška - 2 vyučovací hodiny týdně. Vyučujícím a studentům je k dispozici e-learningový systém LMS Moodle.
Způsob a kritéria hodnocení
Písemný vstupní test a po jeho úspěšném absolvování (úspěšnost >50%) probíhá ústní zkouška, která hodnotí úroveň základních znalostí studenta z technologií přípravy vrstev, způsobů jejich charakterizace, vlastností a použití tenkých vrstev v rozsahu probíraném na přednášce.
Jazyk výuky
angličtina
Osnovy výuky
Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Případová studie
Cíl
Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky
Přednášky jsou nepovinné.
Zařazení předmětu ve studijních plánech
- Program BPCP_CHCHT_INT bakalářský
obor BPCO_SCH , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný
- Program NPCP_CHM_INT magisterský navazující
obor NPCO_CHM , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný
Typ (způsob) výuky
eLearning
eLearning: aktuální otevřený kurz