Detail předmětu
Smart and Semiconductor Sensors
FEKT-NIPSAk. rok: 2019/2020
Předmět se věnuje problematice nejpoužívanějších principů polovodičových snímačů, jejich charakteristické konstrukci, základním technologickým postupům při výrobě, typickými vlastnostmi, parametry, použitím, aplikacemi a omezeními. Důraz je také kladen na seznámení s obvody pro zpracování a úpravu výstupních signálů z těchto snímačů, požadavky kladené na inteligentní snímače (např. metody autodiagnostiky, autokalibrace snímačů) a MEMS snímače. Studenti v rámci laboratorních cvičení získají praktické zkušenosti s vybraným typem polovodičového / inteligentního snímače, čímž si prohloubí znalosti o použití senzorů fyzikálních (neelektrických) veličin.
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Výsledky učení předmětu
Absolvent předmětu je schopen vysvětlit principy polovodičových snímačů a definovat vlastnosti inteligentních snímačů, je schopen rozhodovat o vhodném výběru snímače pro konkrétní aplikaci s přihlédnutím k jejich vlastnostem a omezením vyplývající například z dané technologie výroby snímače. Dokáže navrhovat obvody pro zpracování signálů z těchto snímačů, respektive naplánovat a zrealizovat měřicí řetězec pro praktické měření s těmito snímači.
Prerekvizity
Student, který si zapíše předmět, by měl být schopen vysvětlit základy fyziky polovodičů, vyjmenovat a popsat základní principy snímačů fyzikálních veličin, umět analyzovat a identifikovat elektronické obvody používané v senzorice a měřicí technice, aplikovat základní metody měření elektrických veličin (napětí, proud, odpor, kapacita, indukčnost) a být schopen samostatně sestavit měřicí pracoviště s přístroji: osciloskop, funkční generátor, měřicí karta pro sběr analogového a digitálního signálu a dokázat naprogramovat základní aplikaci pomocí nástrojů virtuální instrumentace (LabVIEW) se zpracováním signálů a dat.
Doporučená nebo povinná literatura
Gad-El-Hak, M.: The MEMS Handbook. CRC, New York, 2002 (EN)
SZE, S.M.: Semiconductor Sensors. John Wiley & Sons, New York, 1994 (EN)
Frank, R.: Understanding Smart Sensors. Artech House, Norwood, 2000 (EN)
Kovacs, T.A.: Micromachined Transducers Sourcebook. McGraw-Hill, New York, 1998 (EN)
Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody
Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT. Metody vyučování zahrnují přednášky a laboratoře. Student odevzdává jeden samostatný projekt.
Způsob a kritéria hodnocení
Až 40 bodů za laboratorní cvičení – vypracování samostatného projektu na vybrané téma z polovodičových a inteligentních snímačů (až 15 bodů za teoretickou část projektu, až 15 bodů za praktickou část projektu, až 10 bodů za prezentaci projektu v laboratoři).
Až 60 bodů za písemnou zkoušku (pro úspěšné absolvování písemné zkoušky je nutné získat minimálně 25 bodů).
Jazyk výuky
angličtina
Osnovy výuky
Definice pojmů, charakteristika snímačů.
Základní technologické postupy při výrobě snímačů, objemové a povrchové mikroobrábění
Základní fyzikální jevy využívané u mikroelektronických polovodičových snímačů
Snímače mechanických veličin
Snímače mechanických veličin
Snímače magnetických veličin
Snímače radiačních veličin
Snímače radiačních veličin
Snímače tepelných veličin
Snímače chemických veličin
Biosenzory
Koncepce inteligentních snímačů - čidlo, zpracování signálu, autodiagnostika, autokalibrace, komunikační standardy
Příklady typických aplikací ve vybraných systémech
Biosnímače
Koncepce inteligentních snímačů - čidlo, elektronické zpracování signálu, komunikační rozhraní, diagnostika, automatická kalibrace
Příklady typických aplikací ve vybraných systémech.
Cíl
Cílem předmětu je seznámit studenty a prohloubit jejich znalosti v oblasti snímačů, konkrétně polovodičových a inteligentních senzorů, jejich použitím v reálných aplikacích, například v měření, navigaci, robotice, atp. Cílem je vytvořit studentům přehled a představu o používaných fyzikálních jevech, měřicích metodách a koncepcích MEMS (mikro-elektro-mechanických) snímačů.
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.