Detail předmětu
Microsensors and Micromechanical Systems
FEKT-CMMSAk. rok: 2019/2020
Základy mikroelektronickýxch technologií pro mikrosenzoriku a mikrosystémy. Úvod do problematiky mikrosenzorů a mikromechanických systémů. Základy mikroelektronických technologií. Základy jevů v polovodičích a jejich využití v senzorice. Odporové senzory. Kapacitní senzory. Hallovy senzory. Piezoelektrické senzory. Senzory s CCD prvky. Generátorové senzory světelného záření. Chemické senzory. Speciální druhy senzorů. Mikromechanické systémy. Nové trendy v mikrosenzorice a v mikromechanických systémech.
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Výsledky učení předmětu
Student získá základní teoretické znalosti a praktické dovednosti z oblasti mikromechanických systémů, mikrosenzorů a metod pro měření neelektrických veličin. Dále získá základní znalosti v oblasti návrhu metodiky měření a vyhodnocování výsledků.
Prerekvizity
Jsou požadovány znalosti na úrovni středoškolského studia.
Doporučená nebo povinná literatura
ZEHNULA,K.: Snímače neelektrických veličin, SNTL Praha, 1986
Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody
Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.
Způsob a kritéria hodnocení
Podmínky pro úspěšné ukončení předmětu stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.
Jazyk výuky
angličtina
Osnovy výuky
1. Úvod do problematiky senzorové techniky
2. Základy mikroelektronických technologií
3. Odporové senzory
4. Kapacitní senzory
5. Indukčnostní senzory
6. Generátorové senzory
7. Polovodičové senzory
8. Optické Senzory
9. Speciální senzory
10. Chemické senzory a biosenzory
11. Mikroelektromechanické systémy
Cíl
Cílem kursu je seznámit posluchače s teorií, principy a konstrukcí mikrosenzorů a mikromechanických systémů. Hlavním úkolem kursu je poskytnutí znalosti pro jejich návrh a optimální využití.
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.