angličtina

Přírodovědecká fakulta (PřF MU)

1. Úvod do fyziky plazmatu (definice plazmatu, Debyeova délka, plazmová frekvence, Boltzmannova kinetická rovnice, makroskopické rovnice)
2. Základy teorie elektrických výbojů (dynamika plazmatu, difuze a transport, stejnosměrná stěnová vrstva)
3. Plazmochemie (kinetika reakcí v plynné fázi a na povrchu, atomární a molekulární srážky, chemické reakce a rovnováha)
4. Interakce iontů s povrchem (základní principy, brždění iontů v pevné látce, radiační poškození, rozprašování, růst vrstev za asistence iontů)
5. Plazmové zdroje (kapacitně a induktivně vázaný radiofrekvenční výboj, mikrovlnné výboje, systémy pro magnetronové rozprašování)
6. Plazmové leptání (reaktivní iontové leptání - RIE and hloubkové RIE, vytváření struktur MEMS/NEMS)
7. Plazmová syntéza nanočástic (NPs) na bázi kovů (Si NPs, magnetické FeOx NPs, atd.)
8. Plazmová syntéza uhlíkových materiálů (tvrdé uhlíkové vrstvy, uhlíkové nanotrubky, grafen)

Lecture Notes on Principles of Plasma Processing, F. F. Chen, J. P. Chang, Plenum 2002 (EN)
Handbook of Nanotechnology, Ed. B. Bhushan, Springer 2010 (EN)