Detail předmětu

Mikrosenzory a mikromechanické systémy

FEKT-KMMSAk. rok: 2017/2018

Základy mikroelektronických technologií pro mikrosenzoriku a mikrosystémy. Úvod do problematiky mikrosenzorů a mikroelektromechanických systémů. Základy mikroelektronických technologií. Základy jevů v polovodičích a jejich využití v senzorice. Odporové senzory (tlaku, teploty, pozice, ...). Kapacitní senzory. Hallovy senzory. Piezoelektrické senzory. Senzory s CCD prvky. Generátorové senzory světelného záření. Chemické senzory a biosenzory (vodivostní, pH senzory, ...). Speciální druhy senzorů. Mikromechanické systémy. Nové trendy v mikrosenzorice a v MEMS.

Výsledky učení předmětu

Student získá základní teoretické znalosti a praktické dovednosti z oblasti mikroelektromechanických systémů, mikrosenzorů a metod pro měření neelektrických veličin. Dále získá základní znalosti v oblasti návrhu metodiky měření a vyhodnocování výsledků.

Prerekvizity

Jsou požadovány znalosti na úrovni středoškolského studia.

Doporučená nebo povinná literatura

HUBÁLEK, J.; DRBOHLAVOVÁ, J.; PRÁŠEK, J.; BUŠINOVÁ, P.; BENDOVÁ, M. Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy. Brno: 2012. (CS)
ZEHNULA,K.: Snímače neelektrických veličin, SNTL Praha, 1986 (CS)

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.
Způsob realizace: 20 % face-to-face, 80 % distance learning.

Způsob a kritéria hodnocení

Podmínky pro úspěšné ukončení předmětu stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.

Jazyk výuky

čeština

Osnovy výuky

1. Úvod do problematiky senzorové techniky
2. Základy mikroelektronických technologií
3. Odporové senzory
4. Kapacitní senzory
5. Indukčnostní senzory
6. Generátorové senzory
7. Polovodičové senzory
8. Optické Senzory
9. Speciální senzory
10. Chemické senzory a biosenzory
11. Mikroelektromechanické systémy

Cíl

Cílem kursu je seznámit posluchače s teorií, principy a konstrukcí mikrosenzorů a mikroelektromechanických systémů. Hlavním úkolem kursu je poskytnutí znalosti pro jejich návrh a optimální využití.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program EEKR-BK bakalářský

    obor BK-MET , 3. ročník, letní semestr, 5 kreditů, volitelný oborový

  • Program EEKR-CZV celoživotní vzdělávání (není studentem)

    obor ET-CZV , 1. ročník, letní semestr, 5 kreditů, volitelný oborový

Typ (způsob) výuky

 

Přednáška

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

Laboratorní cvičení

26 hod., povinná

Vyučující / Lektor