Detail předmětu
Mikroelektronické technologie
FEKT-DME2Ak. rok: 2017/2018
Předmět je zaměřen na studium mikroelektronických technologií formou seminářů a samostudia. Student získá přehled o základních a pokročilých metodách a technikách, využítí materiálů a pravidlech vytváření mikrostruktur. Bude se umět orientovat v oblasti návrhu a výroby včetně využítí nanotechnologií v mikroelektronice.
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Výsledky učení předmětu
Přehled metod a technik v tenkovrstvé a polovodičové technologii, schopnost návrhu miktrostruktur a nanostruktur za využití pokročilých technik výroby.
Prerekvizity
není
Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody
Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.
Způsob a kritéria hodnocení
ústní zkouška
Jazyk výuky
čeština
Osnovy výuky
Základní metody nanášení tenkých vrstev, materiály využívané v tenkovrstvé technologii, vytváření topografie, litografie, anizotropní a isotropní leptání mikrostruktur, termická a chemická oxidace, anodizace, difúze příměsí, pasivační vrstvy, moderní metody vytváření mikrostruktur, MEMS, nanotechnologie a nanoelektronika, NEMS.
Cíl
Student se seznámí se základními i pokročilými metodami a technikami vytváření mikrostruktur a polovodičových součástek, s materiály, pravidly pro jejich realizaci a moderními nanotechnologiemi v polovodičovém průmyslu.
Zařazení předmětu ve studijních plánech
- Program EKT-PK doktorský
obor PK-BEB , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PP doktorský
obor PP-BEB , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PK doktorský
obor PK-EST , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PP doktorský
obor PP-EST , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PK doktorský
obor PK-FEN , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PP doktorský
obor PP-FEN , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PK doktorský
obor PK-KAM , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PP doktorský
obor PP-KAM , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
obor PP-MVE , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový - Program EKT-PK doktorský
obor PK-MVE , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PP doktorský
obor PP-MET , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PK doktorský
obor PK-MET , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
obor PK-SEE , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový - Program EKT-PP doktorský
obor PP-SEE , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
obor PP-TLI , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový - Program EKT-PK doktorský
obor PK-TLI , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PP doktorský
obor PP-TEE , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
- Program EKT-PK doktorský
obor PK-TEE , 1. ročník, letní semestr, 4 kredity, volitelný oborový
Typ (způsob) výuky
eLearning
eLearning: aktuální otevřený kurz