Publication detail

Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544

TOMÁNEK, P., GRMELA, L.

Original Title

Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544

English Title

Semiconductors: local optical and electrical characteristics, ME 544

Type

report

Language

Czech

Original Abstract

Na základě předchozí prací v Laboratoři optické nanometrologie FEKT VUT jsou základními cíli této studie:1.Lokální spektroskopická měření s prostorovým a časovým rozlišení na polovodičových nanostrukturách, 2.Studium interakce sondy s předmětem v případě hybridního SNOM, 3.Diagnostika polovodičových nanostruktur a součástek,4.Studium akcelerovaného stárnutí součástek vedoucí k vyšší spolehlivosti součástek.

English abstract

Due to the preliminary research activities probes, accomplished during last years at Laboratory of Optical Nanometrology of Faculty of Electrical Engineering and Communication, Brno University of Technology, the main targets of this study are: 1.Spatially and temporary resolved spectroscopic measurement of the local photocurrent in the semiconductor nanostructures. 2.Study of the interaction probe tip - sample in the case of SNOM working in hybrid mode. 3. Diagnostics of semiconductor nanomaterials and devices. 4.Study of accelerated ageing of structures leading to the better reliability and life of semiconductor devices.

Key words in English

semiconductor, scanning near-field optical microscopy, local optical characteristics, local electrical characteristics, reliability, aging process

Authors

TOMÁNEK, P., GRMELA, L.

Released

6. 12. 2002

Publisher

MŠMT

Location

Brno

Pages count

18

BibTex

@techreport{BUT56881,
  author="Pavel {Tománek} and Lubomír {Grmela}",
  title="Polovodiče: lokální optické a elektrické vlastnosti, ME 544",
  year="2002",
  publisher="MŠMT",
  address="Brno",
  series="neuvedeno",
  pages="18"
}