Publication detail

Schottky Nano-Tip Cathodes Fabrication and Diagnostics

KNÁPEK, A. KRČÁL, O. GRMELA, L.

Original Title

Schottky Nano-Tip Cathodes Fabrication and Diagnostics

Czech Title

Schottky Nano-Tip Cathodes Fabrication and Diagnostics

English Title

Schottky Nano-Tip Cathodes Fabrication and Diagnostics

Type

journal article

Language

cs

Original Abstract

Článek se zabývá metodou výroby a diagnostiky mikroskopických katod na bázi Schottkyho emise. Zdroje na bázi Schottkyho emise v současnosti převažují v zařízeních, kde se využívá zaostřený elektronový svazek. Pro ideální elektronový zdroj je potřeba dosáhnout následujících parametrů: malá velikost zdroje, malý rozptyl emitované energie, vysoký jas (paprsek proudu na prostorový úhel), nízká šumová a dlouhodobá stabilita, jednoduchá manipulace a levná výroba. V tomto článku je prezentována elektrochemická metoda výroby ostrého hrotu emisní katody společně s vhodnou diagnostickou metodou založenou na měření proudové šumové hustoty. Šumová diagnostika byla provedena na katodě v podmínkách ultra vysokého vakua (UHV) z důvodu omezení interakce s volnými ionty, které se ve vakuové komoře vyskytují. Šumová spektroskopie v časové a kmitočtové rovině je jedna ze slibných metod, jež poskytuje nedestruktivní popis polovodičových materiálů a zařízení.

Czech abstract

Článek se zabývá metodou výroby a diagnostiky mikroskopických katod na bázi Schottkyho emise. Zdroje na bázi Schottkyho emise v současnosti převažují v zařízeních, kde se využívá zaostřený elektronový svazek. Pro ideální elektronový zdroj je potřeba dosáhnout následujících parametrů: malá velikost zdroje, malý rozptyl emitované energie, vysoký jas (paprsek proudu na prostorový úhel), nízká šumová a dlouhodobá stabilita, jednoduchá manipulace a levná výroba. V tomto článku je prezentována elektrochemická metoda výroby ostrého hrotu emisní katody společně s vhodnou diagnostickou metodou založenou na měření proudové šumové hustoty. Šumová diagnostika byla provedena na katodě v podmínkách ultra vysokého vakua (UHV) z důvodu omezení interakce s volnými ionty, které se ve vakuové komoře vyskytují. Šumová spektroskopie v časové a kmitočtové rovině je jedna ze slibných metod, jež poskytuje nedestruktivní popis polovodičových materiálů a zařízení.

English abstract

The paper deals with a method for fabrication and diagnostics of microscopic cathode based on Schottky field emission. Schottky emission is considered to be the predominant electron source technology in actual focused electron beam equipment. For the ideal electron source, it is necessary to achieve following properties: small source size, low electron emission energy spread, high brightness (beam current per solid angle), low noise, long-term stability and a simple and low-cost operation. Electrochemical etching procedure, used for producing extra-sharp tungsten cathode tips, together with suitable noise based analysis method are presented in this paper. Noise diagnostics were performed on the cathode, under the ultra high vacuum conditions (UHV) in order to avoid environment interaction with ions which are present in the vacuum chamber. The noise spectroscopy in time and frequency domain is one of the promising methods to provide a non-destructive characterization of semiconductor materials and devices.

Keywords

Schottky cathodes, noise diagnostics, nanotip etching

RIV year

2010

Released

25.04.2010

Publisher

Západočeská Univerzita

Location

Plzeň

Pages from

1

Pages to

4

Pages count

4

URL

BibTex


@article{BUT48554,
  author="Alexandr {Knápek} and Ondřej {Krčál} and Lubomír {Grmela}",
  title="Schottky Nano-Tip Cathodes Fabrication and Diagnostics",
  annote="Článek se zabývá metodou výroby a diagnostiky mikroskopických katod na bázi Schottkyho emise. Zdroje na bázi Schottkyho emise v současnosti převažují v zařízeních, kde se využívá zaostřený elektronový svazek.  Pro ideální elektronový zdroj je potřeba dosáhnout následujících parametrů: malá velikost zdroje, malý rozptyl emitované energie, vysoký jas  (paprsek proudu na prostorový úhel), nízká šumová a dlouhodobá stabilita, jednoduchá manipulace a levná výroba. V tomto článku je prezentována elektrochemická metoda výroby ostrého hrotu emisní katody společně s vhodnou diagnostickou  metodou založenou na měření proudové šumové hustoty. Šumová diagnostika byla provedena na katodě v podmínkách ultra vysokého vakua (UHV) z důvodu omezení interakce s volnými ionty, které se ve vakuové komoře vyskytují. Šumová spektroskopie v časové a kmitočtové rovině je jedna ze slibných metod, jež poskytuje nedestruktivní popis polovodičových materiálů a zařízení.",
  address="Západočeská Univerzita",
  chapter="48554",
  institution="Západočeská Univerzita",
  journal="ElectroScope - http://www.electroscope.zcu.cz",
  number="1",
  volume="2010",
  year="2010",
  month="april",
  pages="1--4",
  publisher="Západočeská Univerzita",
  type="journal article"
}