Publication detail

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

Original Title

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

Czech Title

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

Language

cs

Original Abstract

Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.

Czech abstract

Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.

Documents

BibTex


@article{BUT43347,
  author="František {Krčma}",
  title="Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace",
  annote="Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.",
  address="ČVS",
  chapter="43347",
  institution="ČVS",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  number="1-2",
  volume="14",
  year="2006",
  month="may",
  pages="2--6",
  publisher="ČVS",
  type="journal article - other"
}