Publication detail

Diagnostika plazmatu pro PACVD

Original Title

Diagnostika plazmatu pro PACVD

Czech Title

Diagnostika plazmatu pro PACVD

Language

cs

Original Abstract

Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.

Czech abstract

Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.

BibTex


@inproceedings{BUT3797,
  author="František {Krčma}",
  title="Diagnostika plazmatu pro PACVD",
  annote="Práce podává přehled diagnostických metod plazmatu používaných při plazmochemických depozicích tenkých vrstev. Byly zahrnuty metody optické emisní a abrorpční spektroskopie i s návody na výpočet parametrů plazmatu. Dále byly obdobným způsobem probrány možnosti použití sond v plazmatu a použtí hmotnostní spektroskopie k diagnostice. Ostatní metody použitelné pro diagnostiku byly pro svoje omezené použití pouze zmíněny.",
  address="Slovenská vákuová spoločnosť",
  booktitle="Sborník Letní školy vakuové techniky",
  chapter="3797",
  institution="Slovenská vákuová spoločnosť",
  year="1999",
  month="january",
  pages="131",
  publisher="Slovenská vákuová spoločnosť",
  type="conference paper"
}