Publication detail

Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace

KRČMA, F.

Original Title

Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace

English Title

Physics and chemistry of low pressure plasma: properties and applications

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Úvodní přednáška začne stručným přehledem plazmatu jako čtvrtého skupenství hmoty, elementárních procesů v plazmatu jako je účinný průřez, distribuční funkce energie elektronů, Debyeova difúzní délka, teploty různých částic (především v nerovnovážných případech), atd. Produkce různých reaktivních částic jako jsou ionty, radikály a excitované částice bude prezentována s ohledem na využití v nerovnovážné objemové i povrchové chemii. Bude uveden přehled nízkotlakých plazmových systémů a elektrodových konfigurací využitelných v laboratorních procesech a technologiích. Na závěr budou prezentovány vybrané průmyslové aplikace jako depozice tenkých a tvrdých vrstev, povrchové úpravy, produkce nanočástic a nanostruktur, plazmová TV, apod.

English abstract

The introduction lecture will start by a brief review of plasma as the fourth state of matter, plasma elementary processes like effective cross sections, electron energy distribution function, Debye diffusion length, temperatures of various species (especially in non-equilibrium cases), etc. The stress on various reactive species generation like ions and radicals and excited species will be presented with link to the non-equilibrium bulk and surface chemistry. The possible low pressure plasma discharge systems and electrode configurations applicable for laboratory processes and technologies will be reviewed. Finally, the selected industrial applications like thin films and hard coatings deposition, surface treatment, nanoparticles and nanostructures synthesis, plasma TV, etc. will be presented.

Keywords

Nízkotlaké plazma, elementární procesy v plazmatu, plazmové technologie

Key words in English

Low pressure plasma, plasma elementary processes, plasma technologies

Authors

KRČMA, F.

Released

30. 5. 2016

Publisher

Česká vakuová Společnost

Location

Praha

ISBN

1213-2705

Periodical

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Year of study

24

Number

1

State

Czech Republic

Pages from

5

Pages to

10

Pages count

6

BibTex

@article{BUT129152,
  author="František {Krčma}",
  title="Fyzika a chemie plazmatu za sníženého tlaku: Vlastnosti a aplikace",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  year="2016",
  volume="24",
  number="1",
  pages="5--10",
  issn="1213-2705"
}