Publication detail

Využití zrcadlového detektoru katodoluminiscenčního signálu a zpětně odražených elektronů pro diagnostiku materiálů v rastrovacím elektronovém mikroskopu

AUTRATA, R., JIRÁK, J., ŠPINKA, J.

Original Title

Využití zrcadlového detektoru katodoluminiscenčního signálu a zpětně odražených elektronů pro diagnostiku materiálů v rastrovacím elektronovém mikroskopu

Type

conference paper

Language

Czech

Authors

AUTRATA, R., JIRÁK, J., ŠPINKA, J.

RIV year

1994

Released

22. 11. 1994

Publisher

Ústav mikroelektroniky VUT v Brně

Location

Brno

Pages from

121

Pages to

122

Pages count

2

BibTex

@inproceedings{BUT1105,
  author="Rudolf {Autrata} and Josef {Jirák} and Jiří {Špinka}",
  title="Využití zrcadlového detektoru katodoluminiscenčního signálu a zpětně odražených elektronů pro diagnostiku materiálů v rastrovacím elektronovém mikroskopu",
  booktitle="Využití zrcadlového detektoru katodoluminiscenčního sign",
  year="1994",
  pages="2",
  publisher="Ústav mikroelektroniky VUT v Brně",
  address="Brno"
}