Product detail

Zařízení na analýzu křemíkových desek

PÁLENÍČEK, M. WERTHEIMER, P. ŠULC, D.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).

Keywords

zařízení; křemíkové desky; defekty; vrstevné chyby; manipulator; analýza obrazu

Create date

9. 12. 2012

Location

On Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek