Product detail

Nanostrukturovaná elektroda pro měření plynů na bázi polovodivých oxidů

HRDÝ, R. HUBÁLEK, J. KYNCLOVÁ, H. PEKÁREK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Nanostrukturovaná elektroda je vyrobena pomocí přímé anodizace (anodické oxidace) tenké vrstvy vybraného kovu (wolfram nebo titan) skrz nanoporézní masku. Maska je vyrobena souběžný produkt anodizace tenké vrstvy hliníku (100 nm) napařené na povrch vybraného kovu. Výsledkem procesu je, po odstranění masky, pole nanoteček resp. Nanosloupků, jejichž průměr je dán průměrem pórů v masce (v rozsahu 10 – 50 nm) a výška závidí na velikosti přiloženého napětí (10 – 250 nm). Takto vytvořená struktura slouží jako citlivá vrstva pro detekci plynů jako kyslík, oxid uhelnatý a vodík.

Keywords

Nanostruktury, oxid wolframový, oxit titaničitý, plynový senzor

Create date

21.06.2012

Location

LabSensNano, UMEL

www